Kategorija proizvoda
Obratite nam se

Haohai Metal Meterials Co., Ltd.

Haohai Titanium Co, Ltd


Adresa:

Plant br.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Dežurnoj servisnoj telefonskoj liniji
029 3358 2330

Tehnologija

Dom > TehnologijaSadržaj

Planarna Magnetrons u PVD Prevlake


Planarna Magnetrons u PVD Prevlake


Planarna Magnetron je, u suštini, Klasični "dioda" modu rasprašenje katoda s dodatkom permanentnim magnetom polju iza katode. Ova polja magneta je Uređen tako da magnetsko polje je normalno da električno polje u zatvorena staza i tvori granicu "tunel" koji zamke elektrona u blizini površine metu. Ovaj elektron prekrivanja poboljšava učinkovitost iona formiranje plina i constrains pražnjenja plazme, dopuštajući viši tekući kod nižeg tlaka plina i postiže veću pršte taloženje stopu za PVD (fizički pare taloženje) prevlaka.


Nekoliko različitih Magnetron Rasprašenje katoda/meta oblika koristi, ali najčešće su kružni i pravokutni. Pravokutni Magnetrons najčešće nalazimo u većem mjerilu u liniji Magnetron Rasprašenje sustave gdje supstrati skenirati linearno prošlosti mete na neki oblik pokretne trake ili prijevoznika. Kružni Magnetrons češće nalaze se u manjem opsegu konfokalnim serije sustave ili jednu hostija stanice u klaster alati.


Iako složenije obrasce može učiniti, većina katode - uključujući gotovo sve kružne i pravokutne one - imaju jednostavan koncentrični magnet uzorak sa centar biti jedan Pol te opsegom suprotno. Za kružne Magnetron, to bi relativno mali okrugli magnet u centru, i kružni prsten magneta od suprotnog polariteta oko izlaza sa jazom između.


Za pravokutni Magnetron centar jedan je obično bar dolje os (ali manje od pune dužine) s pravokutnim "ogradu" od suprotnog polariteta skroz oko njega s jaz između. Jaz je gdje plazma biće, kružni prsten u kružnim Magnetron ili je izdužena "staze" u na pravokutni. Imajte na umu da, pogotovo u većim katode, magneti mogu biti nekoliko pojedinačnih segmenata nego solidan komad.


Kao meta katodnih prevlaka materijal se koristi u PVD i materijal sputters off, bit ćete u mogućnosti vidjeti ove karakteristične erozije uzoraka na licu mete. U stvari, u slučaju bilo kakvih magneta problema kao što su nestale, krivo, ili naopako, erozije staza će biti abnormalan i ovo može biti dobar dijagnostički pokazatelj takvih problema unutar Magnetron Rasprašenje katoda.


Pol orijentacija pojedinačnih magneta mora biti takva da jedan Pol nastaje u centru, i suprotno polova na granici. Postoji nekoliko načina da to učinite. Najčešći je instalirati magneti sjever/jug polova okomito na avion meta, jednog pola prema meta, a drugog - "slobodan" kraj / suprotni Pol - magnetski premostio na druge magnete Pol pločicom od magnetski (normalno Željezni) materijala.


Kompletan magnetski krug je tako otvoren sjeverni Pol jednog magneta (ili lanac od pojedinačnih magneta ako ne jednom komadu) s suprotnu Južni pol zajedno po magnetski materijal sjeverni Pol drugog, čiji Južni pol je zatim otvoren. Ove dvije magnetski nasuprot otvorene aukcije lice prema meta i rezultirajući magnetsko polje lukovima iznad površine cilj ustrojiti elektron prebojavanje, plazma koncentriraju tunela.


Imajte na umu da PVD Magnetron radi sa oba Magnetska poravnanje - centra može biti sjever i perimetar može biti jug, ili obrnuto. Međutim, u većini Planarna Magnetron Rasprašenje sustava, više katode su relativno blizu jedan drugome, i ne želite lutalica sjever / jug polja formirana između ciljeva.


Ta n/s Magnetron Magnetska polja trebalo mete lica, formiranje željenog magnetski tunela nalazi. Iz tog razloga je posve poželjno da katode u jednom sustavu su poravnati na isti način, ili sjever na svoje ograde, ili jug na svoje ograde. A za objekte sa više pršte sustava, isto tako je poželjno da ih svi isti tako da katoda sigurno može biti razmijenjeni između sustava bez brige o magneta poravnanja.


Postoje dodatne okolnosti i mogućnosti u vezi magneti. Većina materijala meta su sobe magnetski i time ne ometaju potrebna jakost magnetskog polja. Ali ako su rasprašenje magnetske materijale kao što su željezo ili nikla, trebat će vam veća snaga magneta, ili tanje mete ili oboje kako bi izbjegli površine magnetsko polje učinkovito isključila Magnetska meta materijalom.


Osim toga, magneta detalje, kao što su magnetske snage i jaz dimenzije, mogu biti dizajnirane za poboljšanje iskorištenja materijala meta ili poboljšati ujednačenost duž glavne osi pravokutnog metu. Je to uopće moguće koristiti elektromagneta umjesto stalnog magneta, koji mogu priuštiti neki stupanj programabilni kontrolu magnetskog polja, ali, naravno, povećati složenost i troškove.


Pršte katode su obično vodom hlađeni, obično uključuju Bakar podloga ploča koja je direktno vodom hlađeni, sa cilj bilo vezani ili vezana za to. I u većini slučajeva magneti se nalaze unutar vode jaknu, u kontaktu sa vodom, koja vjerojatno kontaktira pola ploče u takvim katode.


U takvim slučajevima, stoga sada treba poduzeti odgovarajuće korake kako bi se izbjeglo korozije magneti ili polu tanjur. Pola ploče se mogu izraditi iz magnetske legure od nehrđajućeg čelika, na primjer, kako bi se izbjeglo korozije, a magneti koji, ovisno o svom sastavu, može inače može utjecati na izloženost vode može se sažeti u plastične ili epoksi.


Planarna Magnetrons i njihovi bliski rođaci na Stezaljku na umetak meta Magnetrons, dopustiti korisnik za postizanje veće pršte taloženje stope nego jednostavno dioda katoda konfiguracije. Oni su također u stanju održati plazme na niže plina pritisaka, što može otvoriti taj parametar za dodatni proces prilagodbe kako bi se postigla određeni film svojstva kao što svibanj biti željan.


Širok izbor takvih katode i mete su komercijalno dostupne, uključujući razne opcije za snagu magneta i izgled kako bi unaprijedili određene aspekte procesa kada je to potrebno. Oni su postali glavni oslonac Pršte Magnetron PVD obrade.


Sa suvremenim, dobro opremljenim postrojenja i neprocjenjivo znanje o tankog filma PVD premazom procesi, razvoj i primjena,Haohai Metalrazvija PVD premazom rješenja koja će našim kupcima ponuditi vrlo konkurentne prednosti, mi smo pouzdan partner u proizvodnji visokokvalitetnerasprašenje metei luk katode.


Haohai Metal (Haohai Titan) pruža širok spektar premaznih sredstava u različite konfiguracije, kao što su prskanje rotatable mete, planarna prskanje mete, Luk katode, isparavanje materijala i crucibles materijalima odtItaniumcirkonijkromhafnijumniobijtantalmolibdensilicijTitan-Aluminijnikal-kromsilicij-Aluminijikrom-Aluminij itd.