Kategorija proizvoda
Obratite nam se

Haohai Metal Meterials Co., Ltd.

Haohai Titanium Co, Ltd


Adresa:

Plant br.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Dežurnoj servisnoj telefonskoj liniji
029 3358 2330

Tehnologija

Dom > TehnologijaSadržaj

Specifikacije za ciljeve sprječavanja i katodne materijale

Specifikacije za ciljeve sprječavanja i katodne materijale

 

Rotirajuće municije za sputanje


Sadržaj niske nečistoće, visoka čistoća

Čistoća je jedan od najvažnijih indeksa performansi municije i katodnih materijala, ima dubok uticaj na homogenost tankog filma. Sada, zahtjev za čistoćom municije i katodnih materijala je sve više i više. Na primjer, brzim razvojem mikroelektronske industrije, veličina silicijumske pločice se kreće od 6 ", 8" do 12 ", a širina žičane od 0,5 um smanjuje na 0,25 um, 0,18 um i 0,13 um, čistoća 99,995% raspršivanja Ciljani materijali mogu zadovoljavati tehnološke zahtjeve od 0,35 um, ali sada 0,18 um i 0,13um linije zahtijevaju čistoću od 99,999% ili više mete za prskanje i katodne materijale.

 

Velika gustoća

Prednosti ciljeva i materijala katodnih materijala visoke gustine su:

- odlična električna provodljivost

- izvrsna toplotna provodljivost

- visoka čvrstoća

U procesu nanošenja premaza sa mjerama prskanja visoke gustoće i katodnih materijala,

Snaga spuštanja je niža, stepen taloženja je brži, kvalitet tanke folije je bolji i nije lako pucati. Vijek trajanja municije i katodnih materijala će biti duži, možemo dobiti tanku foliju sa manjom električnom otpornošću i većom svjetlosnom propusnošću.

 

Mikrostruktura-CP-titan-longitudinal-direction.jpg

Mikrostruktura ciljeva titana sprata , 2. stepen


Fina veličina zrna i homogena mikrostruktura

Granica zrna, debljina tanke folije će se raspodjeljivati homogeno, brzina raspršivanja će biti brža. A homogena municija i katodnih materijala su važna garancija za stabilan kvalitet tanke folije.

 

Planarne municije


Haohai metala razvija širok spektar sadržaja niske nečistoće, visoke čistoće, visoke gustoće, veličine sitnog zrna i homogenih mikrostrukturnih mete i katoda, sa materijalima od titana , cirkonija , hroma , niobijuma , tantala , molibdena , hafnija , aluminijuma , silikona , AlTi , AlCr , NiCr i SiAl itd., Kako biste poboljšali svoj postupak premazivanja i dobili guste, trajnije i bolje funkcionalne slojeve.

 

Molim vas, nemojte se ustručavati kontaktirati nas putem sale@pvdtarget.com Za više informacija i cijene.