Kategorija proizvoda
Obratite nam se

Haohai Metal Meterials Co., Ltd.

Haohai Titanium Co, Ltd


Adresa:

Plant br.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Dežurnoj servisnoj telefonskoj liniji
029 3358 2330

Vanjski cilindar sprata, visoka čistoća, monolitna, rotirajuća, rotirajuća, cilindrična, planarna, katodna luk, PVD premaz, nanošenje tankog filma, magnetronske ciljeve

Haohai je specijaliziran za proizvodnju ciljeva za spaljivanje vanadijuma visoke čistoće sa najvišim mogućim gustinom i najmanju moguću veličinu zrna za upotrebu u poluprovodnici, fizičkom prikazu vaporizacije (PVD) displeja i optičkim aplikacijama. Naši ciljevi za nanošenje vanadijuma za tanku foliju dostupni su monoblokom rotacionim, planarskim metejima ili vezanim sa planinskim metama sa različitim oblicima i dimenzijama.

Detalji o proizvodu


CILJ VANADIJUMSKOG SPUTERINGA


Vanadijum je mekan i nodularan, srebro-sivi metal. Ima dobru otpornost na koroziju alkalima, sumpornom i hlorovodoničnom kiselinom. On se lako oksidira na oko 933 K (660 C). Vanadijum ima dobru konstrukcionu čvrstoću i niskog poprečnog preseka niskog fisije, što ga čini korisnim u nuklearnim aplikacijama. Iako je metal, deli sa hromom i manganom svojstvenost valencijskog oksida sa kiselinama.

 

Haohai je specijaliziran za proizvodnju ciljeva za spaljivanje vanadijuma visoke čistoće sa najvišim mogućim gustinom i najmanju moguću veličinu zrna za upotrebu u poluprovodnici, fizičkom prikazu vaporizacije (PVD) displeja i optičkim aplikacijama. Naši ciljevi za nanošenje vanadijuma za tanku foliju dostupni su monoblokom rotacionim, planarskim metejima ili vezanim sa planinskim metama sa različitim oblicima i dimenzijama.

 

Haohai vanadijum mete za sputanje uključuju cilindrične cilindre koji se mogu rotirati sa vanadijumom, metalne ciljeve vanadijuma i kanadske metale vanadijuma.




Vandadijum Rotari (Rotirajuća, Cilindrična) Sputtering Target


Proizvodni program

OD (mm)

ID (mm)

Dužina (mm)

Po mjeri

50 - 300

30 - 280

100 - 4000


Specifikacija

Kompozicija

V

Čistoća

2N5 (99,5%), 2N7 (99,7%), 3N (99,9%), 3N5 (99,95%), 4N (99,99%)

Gustina

6,11 g / cm3

Velicine zrna

<80 mikrona="" ili="" na="">

Procesi izrade

Vakuumsko taljenje, kovanje, ekstrudiranje, obrada, lepljenje

Oblik

Pravo, kost psa

Vrste završetka

SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, Beakert, GPI završava fiksaciju, Spiral Groove,

Po mjeri

Površina

Ra 1.6 mikrona


Druga specifikacija

Pare su degradirane i demagnetizovane nakon finalne obrade

ID je HONED i OD GROUND nakon proizvodnje sirovog cijevi kako bi se osiguralo ID-koncentracija prema OD.

Visoka vakuumska čvrstoća, stopa curenja na bilo kojoj lokaciji koja ne prelazi 1 x 10 -8 STD CC / SEC.

Zaptiven u plastičnoj ambalaži , umotan u penu da bi zaštitio, a završava se za zaštitu zaptivnih površina


Normalne veličine

Vanadium Rotary

Cilj prskanja

Normalne veličine

80mm ID x 100mm OD x Duga

125 mm ID x 153 mm OD x 895 mm duga

125mm ID x 153mm OD x 1172mm Duga

125mm ID x 153mm OD x 1290mm Duga

125 mm ID x 153 mm OD x 1676 mm duga

125mm ID x 153mm OD x 1940mm Duga

125 mm ID x 153 mm OD x 2420 mm duga

125mm ID x 153mm OD x 3191mm Duga

125mm ID x 153mm OD x 3852mm Duga


U poređenju sa planetarnim konfiguracijama titana, Haohai cilindrični cilindrični ciljevi nude:

Veće erozivne zone koje obezbeđuju 2 do 2,5 puta veću iskorišćenost materijala.

Duži životni vek koji smanjuje frekvenciju prekida promene i održavanja komore.

Prilagođena proizvodnja u obliku monolitnog, segmentiranog ili termičkog raspršivanja.

End funkcije koje su precizno obrađene za individualne dizajn katodnih sistema.

Smanjite troškove vlasništva za operacije velikih površinskih premaza.

Raznovrsnost materijala uključujući.

Optimalna veličina zrna i uniformna mikrostruktura obezbeđuju konzistentne performanse procesa kroz pun životni vek.

Kompletna homogenost i visoka čistoća proizvode dosledno pokrivanje.

Može da snabdeva materijale sa bilo kojom veličinom od R & D do proizvodnje u punoj veličini.




Vanadium Planar (pravokutni, kružni) cilj prskanja


Proizvodni program

Pravougaonik

Dužina (mm)

Širina (mm)

Debljina (mm)

Po mjeri

10 - 2000

10 - 600

1.0 - 25

Circular

Prečnik (mm)


Debljina (mm)

10 - 400


1.0 - 25

 

Specifikacija

Kompozicija

V

Čistoća

2N5 (99,5%), 3N (99,9%), 3,5N (99,95%), 4N (99,99%)

Gustina

6,11 g / cm3

Velicine zrna

<80 mikrona="" ili="" na="">

Procesi izrade

Vakuumsko taljenje, kovanje, valjanje, obrada

Oblik

Plata, disk, korak, navođenje prema dolje, navođenje, po meri

Tip

Monolitna, Multi-segmentirana meta, vezivanje

Površina

Ra 1.6 mikrona ili na zahtev

 

Ostale specifikacije

  Uverimo se u isti pravac zrna u više segmentnim dijelovima konstrukcije.

  Ravnost, čista površina, polirana, bez pukotina, ulja, tačke itd.




Vanadium Arc katode

Snabdevamo rotacionim i planarnim arkatnim katodama vanadijuma, kao i rotacionim i ravnim cilindrima vanadijuma




Za našu Vanadium Sputtering Target i Arc Cathodes


Tolerancija

Acc. Do crteža ili zahteva.


Sadržaj nečistoća [ppm]

Čistoća vanadijuma [%]

Elementi

2N5

[99.5]

3N5

[99.95]

Metalne nečistoće [μg / g]

Al

350

50

Ca

200

50

Cr

100

50

Cu

50

50

Fe

800

200

Mo

500

130

NI

300

50

Si

800

150

Sn

100

30

Ti

250

150

Ne-metalne nečistoće [μg / g]

C

150

50

O

400

200

H

30

20

N

200

50

Garantovana gustina [g / cm 3 ]

6.11

6.11

Veličina zrna [μm]

80

80

Termička provodljivost [W / (mK)]

30.7

30.7

Koeficijent toplotnog širenja [1 / K]

8.4 -6

8.4 -6


Analitičke metode:

1. Metalni elementi su analizirani pomoću GDMS-a (Preciznost i pristrasnost tipične za GDMS merenja su razmatrane u ASTM F1593).

2. Gasni elementi su analizirani pomoću LECO GAS ANALIZATORA.

C, S odredio Combustion-lR

N, H određen od strane IGF-TC

O utvrđen od strane IGF-NDIR


Aplikacija

Obloga velike površine stakla

Elektronska industrija

Nositi otporan premaz

Ukrasni premaz



Hot Tags: Cilindrični luk, cilindrični luk, vanjski tanjir, magnetron v cilindra za sputanje, proizvođači, dobavljači, fabrika, proizvođači, veleprodaja, cijena, kupovina, veličina, lepljenje, Visok kvalitet, visoka čistoća, visoke stope korišćenja
Srodni proizvodi
Upit