Kategorija proizvoda
Obratite nam se

Haohai Metal Meterials Co., Ltd.

Haohai Titanium Co, Ltd


Adresa:

Plant br.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Dežurnoj servisnoj telefonskoj liniji
029 3358 2330

Vijesti

Dom > VijestiSadržaj

Analiza magnetsko polje aranžmana Magnetron metala Rasprašenje mete

Analiza magnetsko polje aranžmana magnetron Metal Rasprašenje mete

U posljednjih nekoliko desetljeća, magnetron rasprašenje je postala jedna od najvažnijih metoda taloženje prevlaka. Naširoko koristi u industrijske proizvodnje i znanstvenih istraživanja. Kao i u moderne strojne industrije, korištenje magnetron prskanje tehnologije u izratka površine oplate funkcionalne filmu, superhard film, samopodmazujući filma. U području optike, koristi magnetron rasprašenje tehnologija za pripremu antirefleksni filma niske radijacije i proziran film, film izolacije filma. U području mikroelektronike i optička, Magnetska polja magnetron prskanje tehnologija snimanja također igra važnu ulogu. Međutim, prskanje magnetron tehnologija također ima svoje nedostatke, kao što su niske ciljne iskorištenja, niska taloženje stopa i stopa niske ionizacije. Metalni Rasprašenje mete ciljne stope iskorištenja je zbog postojanja ciljanu pistu, tako da plazma poroda u zoni Lokalnog područja, rezultira regionalne Metal Rasprašenje mete. Oblik piste određuje strukturu magnetsko polje iza mete. Ključ za poboljšanje iskoristivosti cilj je prilagoditi strukturi magnetsko polje, tako da plazmu u veće površine streljanu, kako bi se postigla jedinstvene površine rasprašenje postoji. Za magnetron rasprašenje, prskanje prinos može povećati povećanjem cilj moć, ali cilj može podlijegati topi i pucanja uslijed Toplinska opterećenja. Ovi problemi mogu biti izrađene u slučaju istu metu

Prskanje površine meta površina se povećava, što je rezultiralo u smanjenju Gustoća snage meta površine. Magnetron rasprašenje katoda magnetsko polje dizajn je bio stalno poboljšavanje. Koji je kao predstavnik: kružna avion magnetron rasprašenje izvor, kroz racionalni dizajn magnetsko polje, tako da formiranje pisti kroz centar mete površine metala Rasprašenje mete korištenje mehaničke prijenos uređaja rotirajućeg magneta kako bi se postigla cilj površine pune rasprašenje; pravokutni avion magnetron Sputtering izvor, kroz transmisijski mehanizam kombinirati magneti u stražnjem dijelu cilj veze u obliku romba ili u obliku šljiva pokreta, tako da Ukupni cilj stope iskorištenja od 61%; kroz multi magnetski krug s prilagodbe kako bi se postigla cilj površine niskog tlaka puni jetkanja. Struktura magnetsko polje također možete poboljšati ujednačenost debljina folije. Po podešavanje jakosti magnetskog polja omjer i razvoj ne-ravnoteže magnetron rasprašenje tehnologije, ali također ima funkciju iona oplata. Magnetski krug dizajn je najvažniji dio magnetron rasprašenje izvor.

Magnetsko polje uređenje magnetron Metal Rasprašenje mete

U je planarna magnetron Metal Rasprašenje mete, magnet je smješten iza cilja i magnetsko polje prolazi kroz površinu meta oblika magnetsko polje na površini cilja. U kojem magnetsko polje B paralelno površini ciljne i električno polje E vertikale ciljati površine obrazac zanošenje polje E × B paralelno na površinu metu. Polje E drift × B ima učinak elektrona na zamke, Metal Rasprašenje ciljeve time povećava gustoću elektrona meta površina povećava vjerojatnost sudara između elektrona i neutralni plin molekule i povećava ion izaciju stopa plina prskanje je prskanje stopa.