Kategorija proizvoda
Obratite nam se

Haohai Metal Meterials Co., Ltd.

Haohai Titanium Co, Ltd


Adresa:

Plant br.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Dežurnoj servisnoj telefonskoj liniji
029 3358 2330

Vijesti

Dom > VijestiSadržaj

Smjernice i mjere predostrožnosti za korištenje ciljeva metalne prljavštine

Smjernice i mjere predostrožnosti za korištenje ciljeva metalnog naprezanja

Prvo, priprema za prskanje

Veoma je važno držati vakuumsku komoru, posebno sistem za raspršivanje. Bilo koji ostatak koji stvara mazivo za ulje i prašinu i prethodno nanošenje prevlaka će sakupljati vodena para i druge zagađivače, direktno utičući na stepen vakuuma za postizanje i povećanje mogućnosti otkaza filma. Ciljevi metalne sputarije Kratak spoj ili ciljni startni luk, hrapavost površine filmova i hemijske nečistoće često su prekoračeni zbog nečiste prostorije za raspršivanje, pištolja za prskanje i mete. Da bi se održao sastav karakteristika premaza, gas za raspršivanje (argon ili kiseonik) mora biti čista i suva, sputtering komora u podlogu nakon potrebe za ekstrakcijom vazduha radi postizanja potrebnog vakuumskog procesa. Štitovi tamne površine, zidovi šupljina i susedne površine takođe treba čuvati. Pri čišćenju vakumske komore preporučujemo upotrebu metoda pražnjenja staklenog metala za istovremeno bavljenje delovima prljavštine sa komprimovanim vazduhom kako bi se uklonila šupljina oko preostalog predsputja, a zatim nežno na površinu impregnirana glista od glinice poliranja. Posle poliranja gaze, zatim isperite alkoholom, Metal Sputtering cilja aceton i deionizovanu vodu i preporučuje upotrebu industrijskog usisavača za pomoćno čišćenje.

OPREZ: Kada koristite metu, držite čiste i nezaštićene zaštitne rukavice i izbegavajte direktan kontakt sa metom

Drugo, cilj je čist

Svrha čišćenja ciljanja je uklanjanje prašine ili prljavštine koja može biti prisutna na površini mete.

Metalne mete možete očistiti četri koraka,

Prvi korak u acetonu namotan u mekanu tkaninu bez vlakana;

Drugi korak je sličan prvom koraku sa alkoholom;

Treći korak je oprati sa deioniziranom vodom. Posle pranja sa deioniziranom vodom, meta je zatim stavljena u pećnicu i sušena na 100 ° C tokom 30 minuta.

Čišćenje oksidnog i keramičkog cilja za čišćenje "krpa bez vlakana".

Korak 4 Nakon uklanjanja prljavog područja, ciljevi Metalne prskanja ispirati metu argonom uz visoki pritisak i nisku vlagu kako bi se uklonile sve nečistoće koje mogu uzrokovati lukove u sistemu za raspršivanje

Treće, ciljna instalacija

Najvažnija stvar koju treba primetiti prilikom instalacije meta je da se obezbedi dobra termička veza između cilja i zida hlađenja pištolja. Ako je rigidnost rashladnog zida ozbiljna ili je savijanje stražnje ploče ozbiljno, pucanje ili savijanje se javlja kada se meta ugradi, a toplotna provodljivost zadnjeg cilja na metu će biti značajno pogođena, ciljevi za metalnu prskanje rezultiraju toplota u procesu raspršivanja Distribucija će na kraju dovesti do cilja pucanja ili isključivanja cilja

Da bi se obezbedila dovoljna toplotna provodljivost, sloj grafita se može postaviti između zidova za hlađenje katoda i cilja. Vodite računa da pažljivo proverite i razjasnite ravnost zida za hlađenje pištolja za pištanje korišćenu dok se osigurava da je O-prsten uvek u položaju.

Zbog stepena čistoće korišćene vode za hlađenje i moguće kontaminacije opreme tokom rada opreme, neophodno je pregledati i očistiti rezervoar za vodu rashladne vode katode prilikom ugradnje mete kako bi se obezbedio gladak protok voda za hlađenje i ulaz i izlaz neće biti blokirani.

Neki od modela katoda su manji sa anodnim razmakom, cilindričnim cilindrima, tako da instalacija mete treba da obezbedi da katod i anoda nisu u kontaktu sa provodnikom ne mogu postojati, inače će proizvesti kratki spoj.

Pogledajte uputstva proizvođača opreme za informacije o pravilnom instaliranju cilja. Ako nemate ove informacije u korisničkom priručniku, pokušajte da pratite preporuke. Kada pričvršćujete ciljanu fioku, prvo zategnite ručicu rukom, a zatim dodirnite drugog zavrtnja na dijagonalu, tako da se metalne prskanje ciljeva ponavlja sve dok ne instaliraju sve vijke, a zatim zategnite alat